術(shù)語(yǔ)解釋

真空的定義

真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)

真空度

處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高"和“真空度低"來(lái)表示。真空度高表示真空度“好"的意思，真空度低表示真空度“差"的意思。

真空度單位

通常用托（Torr）為單位，國(guó)際上取用帕（Pa）作為單位。

1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱

托與帕的轉(zhuǎn)換

1托=133.322帕　或　1帕=7.5×10-3托

平均自由程

作無(wú)規(guī)則熱運(yùn)動(dòng)的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號(hào)“λ"表示。

流量

單位時(shí)間流過任意截面的氣體量，符號(hào)用“Q"表示，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。

流導(dǎo)

表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩(wěn)定狀態(tài)下，管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差。符號(hào)記作“U"。 U=Q/(P2- P1)

壓力或壓強(qiáng)

氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用“P"表示。

標(biāo)準(zhǔn)大氣壓

壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓，符號(hào)：（Atm）。

極限真空

真空容器經(jīng)充分抽氣后，穩(wěn)定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣，再經(jīng)12小時(shí)抽真空，最后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測(cè)量一次，取其10次的平均值為極限真空值。

抽氣速率

在一定的壓強(qiáng)和溫度下，單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡(jiǎn)稱抽速。即Sp=Q/（P－P0）

冷阱（水冷擋板）

置于真空容器和泵之間，用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。

氣鎮(zhèn)閥

油封機(jī)械真空泵的壓縮室上開一小孔，并裝上調(diào)節(jié)閥，當(dāng)打開閥并調(diào)節(jié)入氣量，轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到某一位置，空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分蒸汽不致凝結(jié)而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮(zhèn)閥。

真空冷凍干燥

真空冷凍干燥，也稱升華干燥。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然后在真空下使冰升華而達(dá)到干燥目的。

真空蒸鍍

在真空環(huán)境中，將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍，或叫真空鍍膜。

真空干燥

利用真空環(huán)境下沸點(diǎn)低的特點(diǎn)來(lái)干燥物品的方法。

真空系統(tǒng)常用名稱

①主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來(lái)滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。

②前級(jí)泵：用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級(jí)泵。

③粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵，就是粗油泵。